英国Emitech溅射离子镀膜仪等仪器作为世界*电镜制样设备之一,在电子显微镜(扫描电镜透射电镜)的样品制备领域中应用非常广泛。 特点 •低电压溅射 •高分辨率精细涂层(金颗粒达2 nm) •均匀厚度沉积(扫描电镜一般厚度为20nm 或200A) •165 mm(6英寸)腔室 •*冷却样品台 •**的再次涂层 •膜厚度重复性好 •容易装载或卸载样品 •可预设沉积厚度 仪器性能指标 等离子蚀刻单元 Cryogenic Systems for Electron Microscopes 电镜低温系统 ESEM / VP Cooling Stage 环扫/可变真空冷台 Glow Discharge Unit 辉光放电单元